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复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机

详细信息

复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机 是针对小型模具、刀具、铣刀、钻头等产品开发的真空镀膜机，采用8个直径150mm的弧源组成，磁场设计为永磁和电磁复合磁场，膜层组织细腻，颗粒小，弧斑运动速度更快、实现高效沉积。

具体技术规格如下：



真空室尺寸Ø1100mm * H1000mm
极限真空度3.0*10-4Pa
压升率0.33Pa/hr（常态）
冷却水6ton/hr
占据空间3*3*2.5m3
真空室304不锈钢，单层内衬，五年质保
抽气系统进口分子泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵
真空检测英福康CDG045D薄膜规
流量控制Brooks/MKS/AE/汇博隆可选
转架可拉出下转架
磁控溅射平面溅射靶安装孔位两个（可选配）
阴极电弧

4组（8套）（靶材规格150*20）

偏压电源德国霍廷格偏压Huettinger Bias 36KW  
加热系统最高500度，3根热电偶监测
冷却水循环系统配日本SMC水流开关，智能控制
电气元件日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。


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